在洁净室设计中为了减少静电事故，除了产品本身的保护措施外，设计者的责任就是设法减小起电程度。减小起电程度并加速电荷的泄漏，可以通过物理的和化学的方法实现。物理方法有选择合适的材料、接地和调节空气湿度。

1、材料分三种类型:导电材料、静电耗散材料和抗静电材料。表面电阻率低于每单位面积105欧姆，是导电的材料；每单位面积达到106～109欧姆，是静电耗散的材料；每单位面积达到1010～1014欧姆，是抗静电的材料。

如果器件已获得电荷，并与高电导率的已接地表面相接触，该电荷将迅速排掉，使电流水平可能达到足够高，以致可损害该器件。可采用静电耗散材料来减慢放电速率，以减少过快放电带来的损害。抗静电材料则具有低静电产生能力，也可比较慢地排掉电荷。

2、接地是消除导体上静电荷的一种有效方法，这种方法简单、可靠，不需要很大的费用。接地必须符合安全技术规程的要求。

接地既可将物体直接与地相接，也可以通过一定的电阻与地相接。直接接地法用于设备、插座板、夹具等导电部分的接地。对此，需用金属导体以保证与地的可靠接触。当不能直接接地时，就采用物体的静电接地。如果物体内外表面上任意一点对接地回路之间的电阻不超过107，则这一物体可以认为是静电接地。

即使已采用了其他防静电的方法，工作点的工艺设备、试验和测量设备的所有金属和导电的非金属部分仍都必须接地。

防静电的接地装置和电气安全接地装置应连接在一起。

对于坐着进行操作的人员，建议穿抗静电工作服，人体通过抗静电工作服和抗静电坐垫接地。

3、调节湿度法是降低起电程度的简单方法之一，是将生产车间中空气的相对湿度提高到65％～70％。此时大多数介质面层的表面上都凝聚有一层厚厚的水膜。水膜中常含有大量溶解物质的离子，因而介质的表面电导率随湿度的提高而提高。提高湿度尤其能使衣服纤维材料的起电性能降低。

研究证明，当相对湿度超过65％时，材料中所含的水分足以保证积聚的电荷全部漏泄掉。如果提高湿度要影响器件的质量，则可采取局部加湿法。为此，采用能在1～1.5m范围内向空气喷射细小水滴的专用喷雾器。

化学法是通过化学处理减少在电气材料上产生静电荷的有效方法之一。例如，利用化学处理，在地坪和工作台介质面层的表面上以及设备和各种夹具的介质部分上涂覆一层比电阻小于105欧姆·m暂时性的或永久性的表面膜。这种导电膜既可涂在整个介质表面，也可涂在其局部地方为了保证电荷可靠地从介质膜上泄漏掉，必须保证导电膜与接地金属导线之间具有可靠的电接触。导电膜可用金属喷涂、溅射或真空蒸发的方法制取，也可用刷子或喷枪涂覆上一层导电磁漆和漆（厚100～170μm），然后在常温下进行固化。

介质材料的电导率也可采用各种具有吸湿物质和表面活性剂的抗静电材料来提高。最常用的方法是在材料表面浸涂或擦抹上抗静电剂当表面涂覆有抗静电剂时，介质的表面比电阻要降低3～8个数量级。被处理材料的表面电阻决定于抗静电添加剂的性能。

所以，一般要求地面和其他地板采用静电耗散性材料，吊顶和墙的骨架应采用金属材料，玻璃表面粘贴静电耗散性透明薄膜或喷涂静电耗散性防护层。

电子工业洁净室防静电环境的装饰，严禁使用高分子绝缘材料。