对于GMP净化车间来说，由于该区域的特殊性，对管道的链接提出了较高的要去，下面华盛兴邦就谈下GMP净化车间的金属管道怎么连接。

（1）管道材质。用于输送高纯气体的金属管道的材质主要有:

1）低碳不锈钢。大流量高纯、高洁净度气体原则上全部采用低碳不锈钢管。

2）铜管。在半导体企业中，个别生产工艺如砷化镓的操作，为了防止产生器件电阻，不允许使用铜质管路及其附件，只能使用不锈钢材料。

（2）连接方式

1）焊接。高纯、高洁净度气体管道，原则上采用焊接，但不能直接对焊，应采用套管接头，如图1所示。

①不锈钢管的焊接:采用氩弧焊，同时管内通入同等纯度的氩气，防止焊接部位氧化。

②铜管的焊接:采用40％的银焊条，氮气保护焊，管内通入与工艺气体同等纯度的氮气。但要注意，一旦氮气中断或氮气纯度下降，会在焊口附近生成铜的氧化物，产生浸润表面的可能性。所以，当铜管焊接完毕后要用浸渍丙酮的纱布来回擦拭管内，消除焊接处可能产生的氧化物。

2）螺纹连接。螺纹连接的气密性不如焊接的好，不适用于高纯、高洁净度气体管路连接。螺纹连接使用的密封填料残渣有带入气体的危险，而且内外螺纹旋紧时，金属间的摩擦会产生金属粉尘粒子，污染气体。如确实必要，应在铜与铜、铜与铜合金附件螺纹连接时，在外螺纹上均匀地挂上一定量的焊锡，提高密封效果，尽可能减少金属粉尘。

3）法兰连接。螺纹或法兰连接处的密封材料应采用聚四氟乙烯，为确保密封效果，在垫片上涂敷少量氟橡胶（白色、室温固化）。

（3）管路附件的使用

1）管路附件的材质的选用原则应与管材的选用原则一致。

2）在采用铜材的管路系统中，可以使用不锈钢材质的管道附件；但在不锈钢材质的

管路系统中，不容许使用铜质材料的管道附件。